Fertigung einer 600 x 1 mm Schlitzdüse für ein
Cluster-Spektrometer
Technische Anforderungen an die Schlitzdüse
Länge des Schlitzes: 600 mm
Breite: einstellbar, 0.05-0.2 mm, Genauigkeit: ±10 %
Die Schwankung der Schlitzbreite soll < 10 % sein! Die Größe
der Cluster hängt von der Schlitzbreite ab, ist der Schlitz an
einer Stelle breiter, dann werden dort größere Cluster
gebildet: Gewünscht ist jedoch eine gleichmäßige
Clusterverteilung.
Die Beschreibung als
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